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如何進行掩膜版清洗
光刻掩膜版(又稱光罩,英文為Mask Reticle),簡稱掩膜版,是微納加工技術常用的光刻工藝所使用的圖形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結構,再通過曝光過程將圖形信息轉移到產(chǎn)品基片上。
在無數(shù)次的曝光與轉移過程中,掩膜版不可避免地會遭遇污染,其清潔度與完整性直接關乎到最終產(chǎn)品的質量與性能。
接下來合明科技小編跟大家一起探討掩膜版清洗的奧秘,希望能對您有所幫助!
一、掩膜版的重要性
掩膜版作為圖形轉移的關鍵工具,其重要性不言而喻。它不僅是連接設計與制造的橋梁,更是確保半導體器件特征尺寸精確控制的核心。在芯片制造流程中,掩膜版上的圖形通過曝光工藝被精確復制到硅片表面,形成所需的電路圖案。因此,掩膜版的任何微小瑕疵,如污染、劃痕或缺陷,都可能對最終產(chǎn)品的性能產(chǎn)生深遠影響,甚至導致整批產(chǎn)品的報廢。
二、掩膜版污染的來源與影響
掩膜版在使用過程中,可能遭受多種形式的污染,包括但不限于空氣中的微粒、有機殘留物、金屬離子、水分以及化學試劑的殘留等。這些污染物不僅會影響掩膜版的透光性和圖形精度,還可能引發(fā)光刻過程中的缺陷,如線條寬度變化、圖形扭曲或缺失等。特別是油污類污染,由于其粘性強、難以徹底清除,往往成為掩膜版清洗的一大難題。
三、掩膜版清洗
傳統(tǒng)的掩膜版清洗方法在面對油污類污染時顯得力不從心,需要反復清洗,不僅增加了清洗成本,還可能對掩膜版造成機械損傷,如表面粗糙度增加、圖形邊緣模糊等?,F(xiàn)在掩膜版清洗采用的是溫和中性的水基清洗方案,水基清洗劑對油污類污染表現(xiàn)出卓越的清洗效果,能夠更徹底地清除掩膜版表面的頑固污漬,同時減少對掩膜版的物理損傷。水基清洗方案在保證清洗效果的同時還大大降低了成本。
掩膜版清洗劑W3210介紹
掩膜版清洗劑W3210是合明自主開發(fā)的PH中性配方的電子產(chǎn)品焊后殘留水基清洗劑。適用于清洗PCBA等不同類型的電子組裝件上的焊劑、錫膏殘留,包括 SIP、WLP等封裝形式的半導體器件焊劑殘留。由于其PH中性,對敏感金屬和聚合物材料有絕佳的材料兼容性。
掩膜版清洗劑W3210的產(chǎn)品特點:
1、PH 值呈中性,對鋁、銅、鎳、塑料、標簽等敏感材料上顯示出絕佳的材料兼容性。
2、用去離子水按一定比例稀釋后不易起泡,可適用于噴淋、超聲工藝。
3、不含鹵素,材料環(huán)保;氣味清淡,使用液無閃點,使用安全,不需要額外的防爆措施。
4、由于PH中性,減輕污水處理難度。
掩膜版清洗劑W3210的適用工藝:
W3210水基清洗劑適用于在線式或批量式噴淋清洗工藝,也可應用于超聲清洗工藝。
掩膜版清洗劑W3210產(chǎn)品應用:
W3210可以應用于不同類型的焊劑殘留的水基清洗劑。產(chǎn)品為濃縮液,清洗時可根據(jù)殘留物的清洗難易程度,用去離子水稀釋后再進行使用,安全環(huán)保使用方便,是電子精密清洗高端應用的理想之選。
具體應用效果如下列表中所列: