半導(dǎo)體零部件(1)-真空泵

真空技術(shù)是建立低于大氣壓力的物理環(huán)境，以及在此環(huán)境中進(jìn)行工藝制作、物理測(cè)量和科學(xué)試驗(yàn)等所需的技術(shù)。真空技術(shù)主要包括真空獲得、真空測(cè)量、真空檢漏和真空應(yīng)用四個(gè)方面。真空獲得設(shè)備，即獲得、改善和（或）維持真空環(huán)境的裝置，主要指真空泵，是真空技術(shù)中最關(guān)鍵的設(shè)備種類。

真空相關(guān)知識(shí)：

真空是指在指定空間內(nèi)低于環(huán)境大氣壓力的氣體狀態(tài)，也就是該空間內(nèi)氣體分子數(shù)密度低于該地區(qū)大氣壓的氣體分子數(shù)密度。完全沒有氣體的空間狀態(tài)稱為絕對(duì)真空，實(shí)際上是不存在的。在真空技術(shù)中，常用真空度來衡量真空狀態(tài)下空間氣體的稀薄程度，通常真空度用氣體的壓力值來表示。壓力值越高，真空度越低；壓力值越低，真空度越高。

常用的壓力單位為Pa，1Pa壓力是在1平方米的面積上作用1N的力；此外還有標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm、托Torr、巴Bar等壓力單位。一般認(rèn)為在標(biāo)準(zhǔn)情況下760mm高的汞柱產(chǎn)生的壓力為1atm，即1atm=760mmHg=101325Pa；1Torr=1/760 atm；1Pa=10ubar（微巴）=10^-2 mbar （毫巴）。

通?？梢园颜婵斩葎澐譃橐韵聟^(qū)段：低真空，10^5 Pa-10^2 Pa；中真空，10^2 Pa-10^-1 Pa；高真空，10^-1 Pa-10^-5 Pa；超高真空，＜10^-5 Pa。

表1：真空度劃分范圍及應(yīng)用領(lǐng)域

真空泵分類及作用機(jī)理：

按照工作原理的不同，真空泵分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩大類。

氣體傳輸泵可以被進(jìn)一步分為變?nèi)菡婵毡煤蛣?dòng)量真空泵兩類。變?nèi)菡婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期變化來完成吸氣和排氣的裝置，氣體在排出前被壓縮?？煞譃橥鶑?fù)式和旋轉(zhuǎn)式兩種。動(dòng)量真空泵是通過高速旋轉(zhuǎn)的葉片或射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或者氣體分子，使氣體連續(xù)不斷的從入口傳輸?shù)匠隹诘恼婵毡谩?/p>

氣體捕集泵是使氣體分子被吸附或冷凝而保留在泵內(nèi)表面上的一種真空泵，主要包括吸附泵、吸氣劑泵、升華（蒸發(fā)）泵、吸氣劑離子泵、低溫泵等類型。

表2：氣體傳輸泵的分類及應(yīng)用

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